فرن ترسيب البخار الكيميائي CVD ، فرن تلبيد زركونيا السيارات
تطبيق فرن ترسيب البخار الكيميائي:
فرن ترسيب البخار الكيميائي يمكن استخدامها لترسيب البخار الكيميائي للمواد المركبة بغاز الكربون (مثل C3H8 ، إلخ) كمصدر للكربون ، مثل معالجة CVD و CVI للمواد المركبة C / C والمواد المركبة SiC.
ميزات فرن ترسيب البخار الكيميائي:
باستخدام تقنية التحكم المتقدمة ، يمكنه التحكم بدقة في تدفق وضغط الغاز ، وتدفق غاز الترسيب في الفرن مستقر ، ونطاق تذبذب الضغط صغير ؛
غرفة ترسيب الهيكل الخاص لها تأثير ختم جيد وقدرة قوية على مكافحة التلوث ؛
تم اعتماد مسار الغاز متعدد القنوات ، ومجال التدفق موحد ، ولا تتشكل الزاوية الميتة للترسيب ، وتأثير الترسيب جيد ؛
يمكن معالجة غاز الذيل عالي التآكل والغاز القابل للاشتعال والانفجار والغبار الصلب والمنتجات اللزجة ذات نقطة الانصهار المنخفضة الناتجة عن الترسب بشكل فعال ؛
تتميز أحدث وحدة فراغ ذات تصميم مضاد للتآكل بوقت عمل طويل ومعدل صيانة منخفض.
التكوين الرئيسي لفرن الترسيب
باب الفرن: رفع لولبي / / رفع هيدروليكي / ؛قفل يدوي / قفل حلقة القفل التلقائي
غلاف الفرن: فولاذ كربوني كامل / فولاذ مقاوم للصدأ بطبقة داخلية / فولاذ مقاوم للصدأ بالكامل
الفرن: لباد الكربون الناعم / لباد الجرافيت الناعم / لباد مركب صلب
سخان: الجرافيت المتساوي / مصبوب ثلاثة عالية الجرافيت / الجرافيت غرامة
نظام غاز العملية: مقياس التدفق الحجم / الكتلة ؛صمام يدوي / صمام أوتوماتيكيمستورد / محلي
مضخة تفريغ ومقياس فراغ - استيراد / محلي
واجهة الإنسان والآلة: شاشة تعمل باللمس / كمبيوتر صناعي
المكونات الكهربائية: Chint / Schneider / Siemens
| حجم (L) | 35 | 226 | 602 | 1177 | 1899 |
| أقصى درجة حرارة (درجة مئوية) | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
| حجم منطقة العمل D × H (مم) | 300 × 500 | Φ600 × 800 | Φ800 × 1200 | Φ 1000 × 1500 | Φ1100 × 2000 |
| طريقة التحكم في درجة الحرارة | جهاز التحكم في درجة الحرارة الكهربائية لجزيرة اليابان | ||||
| طريقة التسخين | مقاومة التسخين | ||||
| نظام الشفط | مضخة مضادة للحشف أو مضخة بكرة + مضخة الجذور | ||||
| جو تكلس | غاز الهيدروكربون ، إلخ. | ||||
| جهد إمداد الطاقة المقدّر (V) | 380 | ||||
| جهد التسخين المقدر (V) | وفقًا للتصميم ، قم بتكوين محول الفرن | ||||
| حد الفراغ (باسكال) | 6X10ˉ2 (فراغ حالة التبريد) | ||||
